infiTOF

高分解能飛行時間型質量分析計。
汎用GCおよび弊社smartGCを装着可能なGCインターフェースを実装。

- モデル -
infiTOF-UHV： ガス分析用infiTOF
infiTOF-Pro： ガス分析用infiTOF（プロセス仕様）

分解能： ≧30,000 (FWHM)
質量範囲： m/z 1～ 1000
イオン化方式： 電子イオン化(EI)
イオン極性： 正イオン(Pos)
質量精度： ≦3ppm （内部標準法）
　　　　　 ≦5ppm （外部標準法）
感度： S/N＞100 (1pg OFN/GC接続時)
シグナル検出： 10bit ADC/アベレージング方式
サンプリングレート：　 2GS/s
取込速度： 20spectra/sec
寸法： 高さ456mm、幅234mm、奥行640mm
重量： 40kg
電源：100～230VAC（±10％)：50 / 60 Hz、500W

infiTOFを用いた微量ガス長時間モニタリング
infiTOFを用いた³HeおよびD₂の測定
infiTOFによる蒸発燃焼過程の高速リアルタイムモニタリング
infiTOFを用いたH₂中Heの測定
In situ monitoring of Ga(CH₃)₃ reaction with HCl on nitride semiconductor Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) by using “infiTOF-Pro”
infiTOFを用いたH2中微量Heの定量