名古屋大学 天野研究室と実施したinfiTOFを用いた共同実験の成果について、アプリケーションノート MT-009 『In situ monitoring of Ga(CH3)3 reaction with HCl on nitride semiconductor Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy (MOVPE) by using “infiTOF-Pro”』 を追加しました。
2017.07.03
名古屋大学 天野研究室と実施した infiTOFを用いた共同実験の成果が、名古屋大学 永松研究員によって論文としてまとめられ、physica status solidi (b)誌に発表されました。
『Decomposition of trimethylgallium and adduct formation in a metalorganic vapor phase epitaxy reactor analyzed by high-resolution gas monitoring system』
Kentaro Nagamatsu, Shugo Nitta, Zheng Ye, Hirofumi Nagao, Shinichi Miki, Yoshio Honda and Hiroshi Amano
http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/pssb.201600737/full