アプリケーションAPPLICATION


infiTOFによる蒸発燃焼過程の高速リアルタイムモニタリング

破砕発生ガス分析[1]/半導体プロセスガス分析[2]/加熱発生ガス分析[3]などの分野では、測定対象に熱的あるいは物理的な変化を与えたときに発生するガス成分の分析や変化を与える前後に存在するガス成分の濃度変化のモニタリングが実施されます。これらのガス分析には一般的にGCやGC-MSが用いられます。しかし、これらの分野ではリアルタイム性が重視されるため複数の発生ガス成分の濃度を数秒単位で測定したいという要求が多く、一般的なGCやGC-MSでの測定はこのような要求に応えるのは困難です。四重極質量分析計(以下、QMS)に発生ガスを直接導入して数秒間隔で測定される場合もありますが、測定対象が特定された場合に限定されます。発生ガスが特定されていない場合は、QMSの質量分解能・質量精度では発生ガスを確実に同定してモニタリングするのは困難です。

本アプリケーションノートでは、高質量分解能を有するinfiTOFを用いて、アルコール蒸気に着火した際に生じる瞬間的な燃焼過程を高速かつリアルタイムにモニタリングして分析した結果を報告します。
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